蒸發(fā)真空鍍膜機有什么技術要求
結構要求
1、設備的結構應布局合理，造型美觀，操作方便，便于維修。
2、設備中靜、動密封的結構形式及尺寸應符合GB/T 6070和JB/T 1090～1092的規(guī)定。
3、在低真空和高真空管道及鍍膜室上應裝設真空規(guī)管，分別測量各部位的壓力。
4、如果設備的真空機組以擴散泵為主泵，應在擴散泵的進氣口安裝擋板或冷阱。
5、鍍膜室應有觀察窗，對在鍍膜過程中發(fā)生射線的設備，觀察窗上應加裝防射線鏡片。
6、帶工件烘烤裝置的設備，應有測溫電極或測溫裝置。
7、工件架旋轉機構的轉速應符合產品設計要求。
8、裝有離子轟擊裝置或寬束低能離子源裝置的設備，在產品設計要求規(guī)定的參數(shù)范圍內應能正常連續(xù)穩(wěn)定工作30分鐘以上。
9、采用鎢絲作為蒸發(fā)熱源的加熱器應能使蒸鍍材料正常蒸發(fā)，且在蒸發(fā)過程中，加熱器的幾何形狀應不影響正常蒸發(fā)。
10、設備的蒸發(fā)源工作狀況應穩(wěn)定，易于調節(jié)控制。對各類蒸發(fā)源(如電阻蒸發(fā)源、電子束蒸發(fā)源、離子束蒸發(fā)源、激光蒸發(fā)源、感應式蒸發(fā)源等)的技術要求應按相應的產品標準作具體規(guī)定。
11、設備采用低電壓、大電流電阻蒸發(fā)源時，每個蒸發(fā)源加熱器應在電壓4V～20V，電流50A～180A狀態(tài)下正常工作。
制造要求
1、設備的零部件機械加工質量及焊接件質量、裝配質量應符合制造廠技術文件的規(guī)定
2、設備鍍膜室內表面及各密封表面的粗糙度Ra值應不大于1.6um，且對工作時處于真空狀態(tài)的各表面 應進行有效的真空清潔處理并予以干燥。各轉動件、升降機構等動作應靈活，不得有卡、滯、松、抖及異常聲響等現(xiàn)象，需用潤滑脂的動密封處應充入適量真空油脂。
3、設備主要零部件的材料應符合相應的材料標準的規(guī)定。
4、設備配套的電氣裝置的質量應符合制造廠技術文件的規(guī)定，并應保證設備運行和操作時安全可靠。
5、設備的外觀質量應做到沒有非功能性需要的尖角、棱角、凸起及粗糙不平表面。零部件結合面的邊沿應整齊勻稱，不得有明顯錯位。金屬零件的鍍層應牢固，無脫落及生銹等現(xiàn)象，所有堅固件應有防銹層。設備的涂漆表面應光潔、美觀、牢固、無脫落、起皮等現(xiàn)象。
6、設備中外購的配套產品，應符合相應的產品標準，并應有質量合格證。設備中自制的配套產品，經制造廠檢驗部門檢驗合格后方可使用。
7、設備中各類蒸發(fā)源、輔助離子源及離子轟擊、工件旋轉、工件烘烤、工件偏壓、膜厚監(jiān)控等裝置。應逐項調試和聯(lián)合調試，其性能均應達到設計要求，運行可靠。工件加熱到額定溫度，真空室外表面溫度不得高于45度，設備運動部分應能正常工作。
關鍵詞：真空鍍膜
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